真空泵的離子檢漏技術概述
點擊次數：3457 更新時間：2020-07-22
真空泵正常工作中，嚴禁*關閉進、排氣口閥門，應注意定期觀察壓力情況，超負荷時安全閥是否動作排氣，否則應及時調整安全閥，不準超負荷運行。對真空泵要做它的定期檢測工作。離子檢漏法與電離真空計檢漏法類似，是利用示漏氣體進入真空泵時，泵電流將發生變化的特性進行工作的，根據這種變化，可檢測出真空系統的漏孔，并可估算漏孔的大小。
在使用帶有真空泵的抽氣系統，或把被檢件接到真空泵抽氣系統上去時，人們可以在任何時間、在壓力低于10-2 Pa的條件下，對系統或被檢件進行檢漏。這種檢漏方法無須額外儀器，既靈敏又簡便。其示漏氣體可選用氧、氬、氫等。
首先將真空泵抽空，抽到較低壓力后關閉閥門，使泵保持在較低壓力下工作。接入被檢件，用前置泵排氣，當真空度達到1-10-1 Pa時，關閉一閥門并打開另一閥門，用真空泵抽氣。
當達到平衡壓力后，用示漏氣體(如Ar)噴吹可疑有漏孔處，如噴吹到漏孔處時，示漏氣體就會進入系統，使真空泵的放電電流指示迅速上升，這是因為泵對氬氣抽速較低的緣故。
當用氫或氧來檢漏時，將會引起泵電流的下降，因為真空泵對這些氣體的抽速比對空氣的抽速大。
這種方法的靈敏度為10-4～10-9Pa·m3·S-1。根據漏孔的大小，可以調節閥門開啟程度實現其檢漏效能。檢漏時須注意其靈敏度與壓力成反比，因此應盡量在較低的平衡壓力下進行檢漏;示漏氣體經過凈化處理。
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